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スミックス株式会社はマクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。

TEL. 045-548-3278

〒224-0045 神奈川県横浜市都筑区東方町17番地

マクロ光学検査のパイオニア...

スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。

スミックスについて

  • スミックスはマクロ光学検査の有用性と可能性を半導体・液晶・NIL・その他各検査市場に提案し、 検査工程の効率化を通して社会に貢献することを目的とし2009年創業しました。
    弊社のマクロ検査を導入する事で、お客様にはより効率的にコスト競争力のある検査工程を確立して頂けます。
  • またマクロ検査は工程の品質維持管理に寄与するだけでなく、出荷製品のトレーサビリティを保証する事が可能となります。
  • そのコアとなる技術(OAS Technology)は、散乱光を利用したマクロ検査に特化した独自光学系を採用しています。
  • OAS光学系の特徴は以下になります。
     @エッジ反射光(パターンからのダイレクトな反射光)を利用する
     Aミー散乱(半透明体からの指向性のある反射光)を利用する
     B検査光源波長の最適化(ワークの特徴ごとに検査に必要な波長を最適化)
    • マクロ検査のメリット
      • ワーク全体の傾向が一目で分かる(メリット)
         → ミクロで確認すべき個所をピンポイントで確定
      • 検査測定時間が非常に短い(メリット)
         → サンプリングではなく全数検査が可能
      • 対応出来るワークの種類が広い(メリット)
          → 反射光が発生する物ならどんなものでも検査可能)
    • 私たちが得意とするマクロ検査でこの様な事が出来ます。
      • CDとの相関が高いマクロ検査が可能
      • 3nmのサイズ変化をマクロ的に捉えることが可能
      • 鏡面のウェハーの凸凹を可視化する
      • 凹凸のある金属面の傷・打痕を検査する

NEWS
2015年10月
2015年10月 本社を横浜市へ移転致しました。
2013年 7月
2013年7月 (株)日本レーザーのブースでパネル、デモ機の展示を行います。 ナノ・マイクロビジネス展 
2013年 5月
2013年5月 砥粒加工学会 学会誌5月号に社員の記事が掲載されています。
2013年 1月
2013年1月30日 (株)日本レーザーのブースで紹介されました。
ナノテク展
2012年 2月
2012年2月15日 早稲田大学のブースで展示されました。
プリンタブルエレクトロニクス展
2011年11月
2011年11月11日 電子ジャーナル主催でセミナーを行いました。
最新ナノインプリント技術★徹底解説
2010年12月
菱光社ブースより 2010年12月セミコンに出展しました。
製品名 ARCscan (アークスキャン)
2010年 3月
日刊工業新聞に掲載されました。

バナースペース

スミックス株式会社

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TEL 045-548-3278
FAX 045-548-3279