マクロ画像実例集

結晶欠陥画像

ミクロン幅　段差10nm〜20nm のスリップ欠陥を可視化

ミクロン幅　段差10nm〜20nm のスリップ欠陥を可視化

ウェハー表面凹凸画像

高いCDとの相関

OAS1　導入例　（CDとの高い相関でクリティカルなサイズ変動を管理）

NIL工程管理

OAS1　検査条件の最適化技術

　　

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