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スミックス株式会社はマクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。

TEL. 045-548-3278

〒224-0045 神奈川県横浜市都筑区東方町17番地

マクロ光学検査のパイオニア...

スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。

マクロ画像実例集

  • OASテクノロジーにより、様々なサンプルについて評価を行っています。 その中でほんの一部になりますが マクロでこの様な観察が出来ると言う点をご覧下さい。
  • ”マクロでナノ”
    ピクセルサイズ20μmで10nmの段差を捉えます。
    従来マクロ的に捉える事が難しかった結晶欠陥も、弊社のマクロ技術ならご覧のレベルまで可視化することが可能です。量産工程導入実績があります。
    結晶欠陥画像
  • さらに目視では全くの鏡面であるウェハー表面も、本光学系と独自開発の可視化フィルターを用いれば、ここまでのナノオーダーでウェハー(PW)表面の凹凸が可視化出来ます。
    ウェハー表面凹凸画像
  • ”線幅と高い相関”
    このDATAは2006年2月、SPIEにて発表した時の内容になります。 CD(クリティカル ディメンジョン)と画像輝度との高い相関を実現しました。
    SEMで1Chip 400ポイント 2時間かけて測定する代わりにマクロでさっとスキャン
    20秒でウェハー全チップの線幅が管理できます。
    高いCDとの相関
  • ”NIL工程管理に最適”
    ナノインプリント量産工程では、テンプレートや転写後ワークの管理必須です。 OAS1マクロテクノロジーなら管理したい見たいムラの最適観察条件を簡単に抽出。テンプレートや転写されたワークの状態が一目瞭然です。
    NIL工程管理

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