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スミックス株式会社はマクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。

TEL. 045-548-3278

〒224-0045 神奈川県横浜市都筑区東方町17番地

マクロ光学検査のパイオニア...

スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。

技術紹介

  • OASテクノロジーは大きく3種類のマクロ光学系からなり、全ての光学系は”ワークからの反射光” を利用する事が基本になります。
    それぞれの光学系の特徴概略は以下になります。
     OAS ソリューション 反射光  特徴
      OAS1
    パターンムラ
    検出光学ユニット
     エッジ反射光
    パターンからの反射光をダイレクトに受光
    します。
     CDとの相関高い
     OAS2
    微細パターンムラ
    検出光学ユニット
     複合反射光
    色の情報を利用し、薄膜とパターンムラに
    対して変化量の大きな光を受光します。
     薄膜膜厚との相関高い
     OAS3
    超高感度マクロ欠陥
    検出光学ユニット
     Mie散乱光
    指向性のある散乱光を効率的に受光します。
     結晶欠陥、ウェハー凹凸
    等の可視化が可能
  • そのコアとなる技術は
    エッジ反射光を利用したマクロ光学系 OAS1 Technology
    複合反射光を利用したマクロ光学系 OAS2Technology
    ミー散乱光を利用したマクロ光学系 OAS3Technology から成り立ちます。
  • マクロでナノの変化を捉える為、専用のラインセンサカメラを開発しました。
    一般的なラインセンサカメラにおいて256階調で2〜3階調のランダムノイズを有しますが、当社のマクロ専用カメラは1階調以下のランダムノイズを達成しています。

    新規開発ラインセンサカメラとは

    このマクロ専用に開発されたラインセンサカメラを用いる事で、従来では成しえなかった結晶欠陥や極微小な表面凹凸を可視化する事が可能となります。
  • スミックスでは、これらのマクロ技術を組み合わせて、様々なワークに対して最適なマクロ検査を提案しています。
    マクロ検査に興味が有りましたら、是非一度サンプル評価をしてみませんか?
    評価機の大まかなスペックは以下になります。
    • サンプルの大きさ 300mm 以内 
      (液晶基板 1000mm角基板も導入実績有り)
    • サンプル厚み 数十ミクロン〜10mm程度 
      (その他の場合はお問い合わせください。)
    • パターンの有るもの無い物全て検査可能です。
      (ex.液晶基板、モスアイ、金型等、ウェハー、NIL)
  • 詳しくはお問い合わせからお尋ねください。

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スミックス株式会社

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