技術紹介

OASソリューション

OASテクノロジーは大きく3種類のマクロ光学系からなり、全ての光学系は”ワークからの反射光” を利用する事が基本になります。

それぞれの光学系の特徴概略は以下になります。

OAS ソリューション	反射光	特徴
OAS1 パターンムラ 検出光学ユニット	エッジ反射光 パターンからの反射光をダイレクトに受光します。	CDとの相関高い
OAS2 微細パターンムラ 検出光学ユニット	複合反射光 色の情報を利用し、薄膜とパターンムラに対して変化量の大きな光を受光します。	薄膜膜厚との相関高い
OAS3 超高感度マクロ欠陥 検出光学ユニット	Mie散乱光 指向性のある散乱光を効率的に受光します。	結晶欠陥、ウェハー凹凸等の可視化が可能

そのコアとなる技術は
エッジ反射光を利用したマクロ光学系 OAS1 Technology
複合反射光を利用したマクロ光学系 OAS2Technology
ミー散乱光を利用したマクロ光学系 OAS3Technology から成り立ちます。

専用ラインセンサカメラ

マクロでナノの変化を捉える為、専用のラインセンサカメラを開発しました。
一般的なラインセンサカメラにおいて256階調で2〜3階調のランダムノイズを有しますが、当社のマクロ専用カメラは1階調以下のランダムノイズを達成しています。

>>>新規開発ラインセンサカメラとは

このマクロ専用に開発されたラインセンサカメラを用いる事で、従来では成しえなかった結晶欠陥や極微小な表面凹凸を可視化する事が可能となります。

サンプル評価のご案内

スミックスでは、これらのマクロ技術を組み合わせて、様々なワークに対して最適なマクロ検査を提案しています。
マクロ検査に興味が有りましたら、是非一度サンプル評価をしてみませんか？
評価機の大まかなスペックは以下になります。

• サンプルの大きさ　300mm　以内　
  （液晶基板　1000mm角基板も導入実績有り）
• サンプル厚み　数十ミクロン〜10mm程度　
  （その他の場合はお問い合わせください。）
• パターンの有るもの無い物全て検査可能です。
  （ex.液晶基板、モスアイ、金型等、ウェハー、NIL）

詳しくはお問い合わせからお尋ねください。