■OAS1は、弊社が規程するカメラ、照明などを利用し、サンプルの構造から得られる最適光学条件を決定します。

■決定した光学条件にて構造条件が変化したサンプルを撮像した場合、相対的な輝度に変化が現れ、その変化画像を提供します。（欠陥検出、判断を行うものではありません。）

光学条件判断機能(レシピ作成）

�@全画面処理

検査対象2次元画像から処理、判断を行います。マスク機能を搭載します。ただしマスク情報は指定フォーマットにて提供されるものとします。マスク情報がない場合、OASの標準機能で処理が行われます。

�A明るさ判断

撮像された画像に対して、OASとしての適正画像かの判断を行います。

�B方向判断

撮像された画像に対して、OASとしての適正方向かの判断を行います。指定ラインの選択可能画像が撮像されている場合のみ判断可能とします。0，90，45度方向のサンプルからの判断は行えません。方向判断画像としては0，90度の両方向のデータから判断され、片側画像(ファイル）の場合はエラーとします。

�C検査ライン判断

同一ウェハ角度方向の3種類の角度に於いての2次元画像から、OASとしての適正検査ラインの判断を行います。

�Dライン処理

検査対象のカメラ角度別1次元画像から処理、判断を行うものとします。角度毎の画像データは、全ての取込速度を対象とします。

画像取込機能

レシピ条件にてサンプルの画像を撮像します。撮像する際には照明の補正機能を有し、利用の有無についてはユーザーにて決定できるものとします。

メンテナンス機能

OASで利用されるハードウェアの単独動作確認を行うための機能を提供します。

�@取込位置ずれ補正情報取得機能

カメラ角度毎の撮像ずれ補正情報を提供します。

�A輝度補正情報製作機能

カメラ角度毎の輝度補正情報を製作し、画像撮像時の補正に利用します。

�B照明点灯機能

スティック照明の点灯制御を提供します。

�C画像取込機能

指定ライン数の撮像を行い、BMPファイルとして保存します。複数ラインの撮像を行う場合は、トリガーからの撮像とします。

�D各種パラメータ

協議の上、装置として可変が必要なパラメータの変更を可能とします。

マニュアル機能(ユーザー提供）

OASとして判断が行えなかった情報（ライン，方向，明るさ）に関しては、マニュアルにて対応可能な仕組みが提供されるものとします。

輝度補正機能

OAS輝度補正は画像取込保存命令時（GIM，EIE）に輝度補正データに基づいて取込画像の輝度を変化させます。

マスク情報

マスク情報とは、OASが処理を行う場所を限定するための情報とします。これはユーザーから提供され、情報は以下のものとします。

• ウェハサイズ(ミクロン：整数値）
• 回転中心（X，Y)
• ウェハ内ショット数（行，列）
• ショット内チップ数（行，列）
• ショット幅、高さ（ミクロン：整数値）
• チップ幅、高さ（ミクロン：整数値）
• ショット桁、行、チップ桁、行、左上座標（X，Y)、チップサイズ（W，H)、有効フラグ

■OAS2は、CCDカラーフィルター、CCDマイクロレンズ工程での観察を目的とした光学系です。

■ユーザーの指定した情報番号毎の画像を得ることが出来ます。

■BOX系照明を採用し、複合反射光または干渉光を利用して、パターン形状不良、膜厚変化を微小ムラとしマクロ観察を行うことが可能です。

■レシピ作成支援機能は観察を行うための最適光学条件を判断し、レシピ作成の支援情報を提供するものです。

観察対象条件と照明種類

1. パターン形状変化：BOX2.5
2. 膜厚ムラ変化　　：BOX2.0

※上記観察条件以外の条件が発生した場合は、別途打合せを行い、対処方法を検討します。

観察条件

観察条件に応じた照明を点灯する必要があり(上記参照）、検索データ取得時の照明点灯種類によって最適光学条件が選ばれます。条件処理のパラメータと点灯照明が不一致の場合は処理を行いません。

レシピ作成支援機能

1. 観察条件に対する最適光学条件を判断し、得られた光学条件を通知します。
2. 最適光学条件は、各観察条件に対して複数とします。
3. １回の判断処理は複数観察条件検出と単一観察条件検出があります。
4. 判断処理のデータ取得シーケンスは、OASレシピ作成支援機能とほぼ同一としますが、一部コマンド、パラメータ類が変更されます。
5. 明るさの調整はステージ速度にて行われるため、指定輝度のステージ速度が求められます。

※こちらの機能は最適光学条件を判断するものであり、欠陥や観察条件の変化を抽出するものではありません

画像情報

フォーマット形式：ビットマップ
階調　　　　　　：8ビット(グレースケール）

条件検出プロセス

条件検出処理は指定された下記工程毎に行われます。�Cは�@〜�Bのすべてを意味します。

1. カラーフィルター（CF)R工程
2. カラーフィルター（CF)G工程
3. マイクロレンズ工程
4. 全ての工程

観察条件の候補数

およそ10枚/工程

■OAS3は、弊社が規程するカメラ、照明などを利用し、サンプルの欠陥構造に基づいて光学機器の配置条件を決定し、撮像する光学系です。

■本光学系は高感度で欠陥部を可視化することを可能にします。(欠損部の抽出機能等は搭載されていません。）

機能

照明1または2台に対して撮像カメラ1〜4台で動作します。

�@通常撮像

外部、内部トリガー入力から指定ライン撮像

�A撮像終了待ち

画像取込終了確認

�B撮像ライン取得

撮像中のライン数取得

�C照明点灯

指定地で点灯

�D画像保存

指定フォルダーに画像保存

�E指定明るさ条件取得

指定輝度になるための照明、露光時間取得

�Fキャリブレーション撮像

キャリブレーションデータ作成用の画像撮像

�G合成画像

複数枚の画像を1枚の画像に合成します(オプション）

�H照明制御

照明の接続から点灯・消灯を行います。照明の明るさ（照明光量）は50〜255の数値で指定します。照明制御のパラメータには照明種類と照明位置があります。

�I画像取込

ラインセンサカメラから画像データを取得します。画像取込はバックグラウンドで行われます。取り込まれた画像は、指定ビット数の画像データとして出力されます。ラインセンサカメラの露光時間はusec単位で指定します。露光時間よりステージの移動速度を算出しステージを移動しながらの撮像になります。

�J最適露光時間

Oas光学系で最適な明るさになるような露光時間と照明光量を取得します。

照明光量取得(BBSV)

BBSVはバックグラウンドで行われます。

�Kカメラキャリブレーション

カメラのCCD素子間の差を補正します。

出力画像仕様

ビット数：８（モノクロ）オプションによって多階調対応可
画素数　：2048画素

オブジェクト

OAS3オブジェクト	OAS3 オブジェクトは1台のPC上で1つのみ動作する事が可能で、照明制御オブジェクト、画像制御オブジェクトを有します。
照明制御オブジェクト	通信ポートを介して3台の照明点灯電源コントローラーを制御します。 メソッド　：初期化 　　　　　：点灯、消灯コマンドの送受信 プロパティ：点灯値（0，50-255）
画像制御オブジェクト	2枚の画像ボードを制御し、接続されたカメラから取り込みモードに応じた画像データをフレームメモリーへ転送します。1枚の画像ボードに接続できるカメラは1台のみです。 メソッド　：初期化 　　　　　：外部トリガー取込 　　　　　：内部トリガー取込 　　　　　：取込キャンセル 　　　　　：キャリブレーション取込 　　　　　：フレームメモリーマネージメント 　　　　　：画像保存（BMP形式） 　　　　　：キャリブレーションファイル作成 プロパティ：フレームメモリーアドレス 　　　　　：取込ライン数 　　　　　：タイムアウト値 　　　　　：露光時間