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スミックス株式会社はマクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。

TEL. 045-548-3278

〒224-0045 神奈川県横浜市都筑区東方町17番地

マクロ光学検査のパイオニア...

スミックス株式会社は、マクロ光学検査を専門とする装置開発・製造・販売会社です。

装置部門

  • ARCscan

    ARCscanとは、ミクロ観察では困難な広い領域におけるパターン形状の均一性の解析/評価
    を可能とする装置です。
    観察対象を最適化した光学条件を実現し、従来では困難であった高感度・高速・大面積の検査を可能としました


    【主な仕様】
     @ワークサイズ:300mm×300mm以下、t=17mm以下
     A撮像光学系 :ラインスキャン方式、専用LED照明
     B駆動系   :カメラΘ軸
            :テーブルX軸、Y軸、Θ軸、手動Z軸(17mm)

    【ハードウェア概要】
     @メインPC        :本装置のすべての制御を行う制御ユニットとしてパーソナル・コンピュータを用
                  います。
     A高解像度カラーモニター:水平解像度 1920×1200画素
                 :画面サイズ 21インチ以上
     Bマクロ照明ユニット  :本製品用に開発したLEDアレイ照明を搭載
     C撮像センサー     :本製品用に開発したCCDラインセンサを搭載
                 :256階調、8bit出力
     Dステージ仕様     :マイクロメータによる光軸高さ調整機能を搭載
                 :10mm以下のサンプル厚に対応
                  (反りや表面状態によって不可能な場合があります。)
     E視野サイズおよび画素サイズ(分解能)

      対応視野サイズ スキャン長  試料面での画素サイズ 
      60mm〜300mm  150mm(コンパクトタイプ)  20μm〜56μm
       300mm(ワイドタイプ)  

     
    【主なソフトウェア仕様】
     @オペレーターモード    :一定条件での繰り返し撮像
     Aマニュアル撮像モード   :角度、照明、露光時間、明るさ一定の組み合わせ自動撮像機能
     B自動条件設定モード    :ワークに対して最適角度画像を抽出(オプション)
     C結果閲覧・レシピ作成モード:画像の閲覧、撮像条件の情報を保存
     ※撮像した画像はBMP形式で保存し、撮像条件の情報を含みます。

    【MIT tool(Macro Imaging Technology Tool)ソフトウェア】
     撮像したマクロ画像データの各種画像処理ツールを搭載
     (エリア指定,ライン指定,CSVファイル化,プロファイル表示,画像トリミング,縮小拡大
      インデックスカラー化,ヒストグラム作成,フィルタリング・補正等の機能を有します。)

    【拡張機能(オプション対応)】
     画像合成、3D表示、周波数解析
     ※各種画像処理機能は、すべての画像での対応を保証するものではありません。

    【主な撮像アプリケーション】
     ナノインプリント転写性の解析評価、モールド劣化解析評価、離型剤塗布状態の観察・評価
     フォトニック結晶パターン評価、PSSの検査、評価液晶パネル・有機ELパネルのレジストパターンむらや
     成膜プロセスにおける各種解析評価
     ウェハー・レジストパターンむら検査・評価、デフォーカス評価、各種のナノ&ミクロ・スケール・パターン
     の均一性評価解析

    【追加仕様】
     HEPAフィルター(クリーン度を保証するものではありません)、ローダー対応、欠陥検出ソフトウェア

    ARCscanで撮像した高感度マクロ画像
    ナノインプリント・プロセスで形成されたサブミクロン・ピラーパターンのウェハー
            
    個々の微細パターンからの微弱なエッジ反射光の変化を     一般的なマクロ観察では回折光や散乱光が
    高感度に検出して、パターンの不均一性を可視化        強く発生して不均一性の検出は困難
    (回折光を排除したエッジ反射光検出技術)

    106〜159nmホールのレジスト・パターン


    エッジ反射光強度とホール直径の相関性



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